Der Optikkonzern Zeiss hat einen langen Atem bei der Entwicklung einer Lithografie-Technologie bewiesen. Jetzt kann das Unternehmen aus Oberkochen die Früchte ernten. Einen Konkurrenten bei dieser neuen Technologie gibt es nicht.

Stuttgart - Mehr als 30 Jahre Entwicklungszeit hat der Optikkonzern Zeiss in diese Technologie gesteckt, jetzt scheint einer Serienfertigung nichts mehr im Wege zu stehen. Die Rede ist von der EUV-Lithografie. Die drei Buchstaben stehen für extrem ultraviolette Strahlung. Dahinter verbirgt sich ein Verfahren in der Chipherstellung. Dank dieser Technik können immer kleinere, effizientere und leistungsfähigere Halbleiter hergestellt werden. Nicht zuletzt durch die zunehmende Digitalisierung ist der Bedarf an solchen Bauelementen weltweit deutlich gestiegen, die Halbleiterhersteller erweitern derzeit ihre Produktionskapazitäten. Und davon profitiert auch der Oberkochener Optikkonzern. Um 35 Prozent auf 732 Millionen ist der Zeiss-Umsatz im Bereich Halbleiter im ersten Halbjahr des Geschäftsjahres – es begann am 1 . Oktober – in die Höhe geschnellt. Der Auftragseingang für die EUV-Technologie würde kontinuierlich steigen, teilte Zeiss bei der Vorlage der Halbjahreszahlen mit. Wie viele Chiphersteller bereits in diese Technologie investieren, nannte Zeiss nicht. Der Grund dafür ist, dass Zeiss für seine Optiken vor allem einen Kunden hat: den niederländischen Anlagenbauer ASML, der auch den Kundenkontakt in die Halbleiterbranche hat. Früheren Angaben von ASML zufolge sollen allein im vierten Quartal 2017 zehn EUV-Bestellungen bei den Niederländern eingegangen sein. Und die Entwicklung könnte sich beschleunigen, denn es gebe keine Konkurrenten auf dem Weltmarkt, sagte ein Zeiss-Sprecher. Zeiss mit seinen beiden Kooperationspartnern ASML und dem Laserspezialisten Trumpf seien derzeit die einzigen Partner für EUV. Die Verbindung zwischen Zeiss und ASML ist dabei besonders eng, denn ASML ist mit 24,9 Prozent an der Halbleiter-Tochter Carl Zeiss SMT beteiligt. Mit diesem finanziellen Engagement, das seit November 2016 besteht, soll die Entwicklung der nächsten EUV-Lithografie-Generation vorangetrieben werden.

 

Hohe Zukunftsinvestitionen

Mit der Entwicklung im ersten Halbjahr dürfte das Oberkochener Unternehmen insgesamt zufrieden sein. Der Umsatz stieg um neun Prozent auf 2,8 Milliarden Euro, das Konzernergebnis verbesserte sich um drei Prozent auf 254 Millionen Euro. Erfreulich sei dabei die Entwicklung in Asien gewesen. Zeiss erzielt 90 Prozent des Umsatzes im Ausland. „Besonders unsere Geschäfte in den Hochtechnologiefeldern Halbleiterfertigungstechnik, Messtechnik und Medizintechnik sorgen für Wachstum“, sagte Zeiss-Chef Michael Kaske. In diese Bereiche investiert das Unternehmen auch kräftig. Allein im ersten Halbjahr sind die Aufgaben für Forschung und Entwicklung um weitere 20 Prozent auf knapp 300 Millionen Euro gestiegen. Damit fließen knapp elf Prozent des Umsatzes in die Zukunftstechnologien.

Die positive Entwicklung spiegelt sich auch in der Zahl der Mitarbeiter wieder. Knapp 28 300 Beschäftigte stehen auf der Gehaltsliste, acht Prozent mehr als vor einem Jahr. In Deutschland habe sich die Belegschaft um 800 erhöht. Zuversicht verbreitet Kaske für das zweite Halbjahr: Die Wachstumsimpulse aus Asien seien „sehr gut“, die Nachfrage im Halbleitersegment hoch. Die Digitalisierung biete eine enorme Wachstumschance für Zeiss, so Kaske.